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Atomic Layer Deposition Applications 3; Proceedings: Atomic Layer Deposition Applications Symposium (3D--2007--Washington, DC) Tapa blanda - 2007

de Electrochemical Society (Other)


Información de la editorial

"Third Symposium on Atomic Layer Deposition Applications was held on October 8 and 9, 2007 in the Hilton Washington, Washington, DC as part of the 212th meeting of the Electrochemical Society"--P. iii. "Dielectric and semiconductor materials, devices, and processing"--Cover. Includes bibliographical references and index.

Detalles

  • Título Atomic Layer Deposition Applications 3; Proceedings: Atomic Layer Deposition Applications Symposium (3D--2007--Washington, DC)
  • Autor Electrochemical Society (Other)
  • Encuadernación Tapa blanda
  • Edición First Edition
  • Páginas 288
  • Volúmenes 1
  • Idioma ENG
  • Editorial Electrochemical Society, Pennington, NJ
  • Fecha de publicación 2007
  • Ilustrado
  • ISBN 9781566775731 / 1566775736
  • Library of Congress subjects Vapor-plating, Chemical vapor deposition
  • Número de catálogo de la Librería del Congreso de EEUU 2008276631
  • Dewey Decimal Code 621.381